内藤電誠工業株式会社評価解析事業部は、半導体製品の信頼性評価（耐候性試験）／実装評価（耐熱性試験）／調査解析（外観／非破壊／半破壊／破壊）を行います。

EDX（エネルギー分散型X線分光法）の原理　PDFダウンロード（109KB）

1.基板電極の腐食および付着物の成分分析事例 　
低真空モードによる観察・分析ではチャージアップ現象の軽減効果により、 　絶縁物試料への無蒸着観察が可能となります。また、蒸着成分を含まない元素定性が可能となります

不具合外観

（低真空モードによる無蒸着観察）

X線スペクトル

特性X線マップ像

2.共晶半田の定量分析事例
定量分析とは、含まれている元素の組成比を明らかにする、又は注目している元素がどれくらいかの量、含まれているかを明らかにする分析で、定性分析として収集したX線スペクトルデータから定量計算されます。

X線スペクトル＆特性X線マップ像

定量分析結果

3.加速電圧の相違によるＸ線スペクトルの違い
弊社が所有する分析装置はエネルギー分散型（EDX）で、試料表面への電子ビーム照射により発生した特性を検出し、元素分析を行うものです。元素検出の深さ方向の感度は加速電圧により変わることから加速電圧を変えて分析することで、深さ方向の定性を検討することが可能となります。

図1-a、bは、ある電子部品にみられた変色部（SEM観察において薄膜状の物質が存在）と正常部を加速電圧15kVにて定性分析したX線スペクトルですが、有意差を確認することができませんでした。

そこで加速電圧を5kVに下げて定性分析したところ、図2-a、bのようにC成分の強度が大きくなっていることが確認できました。加速電圧を低くしたことで、最表面、且つ軽元素の情報が顕著に現れた事例です。
（尚、事後の調査によって変色部には有機系の物質が存在することが判明しました。）

4.BGA半田ボール接合部の線分析半田ボール断面SEM像（広域）とSEM像（分析エリア）にリンクした線分析データ

X線分析データ

元素別分析データ