Ｘ線ではCT機能により3D観察やスライス観察が可能です。
FE-SEMでは80万倍までの観察が可能です。クロスセクションポリッシャーでは、断面加工及びフラットミリングが可能です。
超音波探傷（SAT）では25、50、75、140、230MHZの観察が可能性です。
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メーカー・形式 |
仕様 |
電界放出（放射）
走査型電子顕微鏡
（FE-SEM）
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日立
SU8000 |
二次電子像分解能：1.0nm
加速電圧：0.1kV～30kV
倍率：×30～×800,000
試料サイズ：Φ150mm
二次検出器：Top/Upper/Lower
SE（二次電子）・BSE-H（組成情報）･
BSE-L（組成+凹凸情報）
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HORIBA
EMAX x-act250 |
検出元素範囲：B（5）～U（92）
検出器：シリコン･リチウム･ドリフト型
分解能：137ev以下
その他：定性分析、カラーマッピング機能、
定量分析（1%未満分析可能）、多点・線分析 |
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| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
マルチフォーカス
X線CT装置
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エクスロン
Cheetah EVO |
透視観察：ナノ・マイクロ・ハイパワー
CTスキャン：直交+斜めCTスキャン
観察倍率：～3000倍
焦点寸法：最小0.3μm
管電圧：最大160kV 管電流：最大1mA
ステージサイズ：460mm×410mm サンプル重量：最大5kg
映像素子：FPD 16bit 100万画像 |
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マイクロフォーカス
X線装置
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SHIMADZU
SMX-160LT |
焦点寸法：0.4μm フィラメント：LaB6
観察倍率：5～2700倍（モニタ上）
最大管電圧：160kV 最大管電流：200μA
ステージサイズ：350mm×300mm |
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Ｘ線透過装置
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ソフテックス
CD-100 |
観察倍率：×7～65 焦点寸法：0.3mm
最大管電圧：100kV 最大管電流：3mA |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
超音波探査映像装置
（SAT）
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日立建機
ファインテック
HYE-FOCUSⅡ |
走査範囲：340×340mm
最大倍率：1000倍
最小ピッチ：2.5μm 256表示階調
プローブ種類：25、50、75、140、230MHz |
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メーカー・形式 |
仕様 |
試料切断装置
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リファインテック
RCA-005 |
ダイヤモンド切断ホイールΦ5インチ使用 |
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BUEHLER
アイソメット2000 |
ダイヤモンド切断ホイールΦ6インチ使用 |
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メーカー・形式 |
仕様 |
試料研磨装置
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BUEHLER
エコメット4000 |
研磨ディスク：12インチ
回転数：10～500rpmで10rpm毎に可変 |
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BUEHLER
エコメットツイン |
研磨ディスク：8インチ
回転数：10～350rpmで10rpm毎に可変 |
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ポリシステム
PS-2000 |
研磨ディスク：200mm
回転数：10～200rpm無断変速 |
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丸本ストルアス
ロトポール25 |
研磨ディスク：250mm／2枚
回転数：40～600rpmで無断変速 |
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クロスセクションポリッシャ
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日本電子
SM－09020CP
MarkⅡ |
イオン加速電圧：2～6kV イオンビーム径：500um（ 半値幅）
最大搭載試料サイズ／ミリングスピード
CP：幅11mm×長さ10mm×厚さ2mm／100um／H
ミリング：幅20mm×長さ20mm×厚さ3mm／4um／H
試料移動範囲：X軸：±3mm、Y軸：±3mm 試料角度調整：±5度
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ディンブルグラインダー
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GATAN
Dimple Grinder
Model 656 |
初期試料厚さ：200μm以下 最終試料厚さ：5～10μmまで
研磨ホイール径：15mmφ 研磨ホイール速度：0～600rpm |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
実体顕微鏡
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ライカ
Z16 APO |
観察倍率：×3.6～×230
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
（ニコン DMX-1200Fデジタルカメラシステム） |
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オリンパス
SZH10 |
観察倍率：×3.5～×140
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム |
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デジタル
マイクロスコープ
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キーエンス
VHX-6000 |
観察倍率：0.1倍～2000倍
2D計測機能(多点計測可)
撮ライブ深度合成
自動画像連結機能
傾斜観察角度：最大90度 |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
金属･透過型顕微鏡
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ニコン
エクリプスME600L |
観察倍率：×25～×1500
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
（ニコン DMX-1200デジタルカメラシステム） |
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オリンパス
BX60MF5 |
観察倍率：×37.5～×990
撮影装置：デジタル高精細画像・インスタントフィルム
（ニコン DMX-1200デジタルカメラシステム） |
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オリンパス
BHC |
観察倍率：×25～×840 |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
レーザーパッケージ開封機
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ハイソル社製
Laser Decap PRO |
レーザー方式：Nd・YVO4レーザー
・波長：1,064nm ・定格出力：＞9W
・パルス周波数：0-200kHz ・加工範囲：200×200nm |
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パッケージオープナー
（自動開封装置）
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日本
サイエンティフィック
PA-103 |
使用薬品：発煙硝酸
開封可能パッケージ：プラスティックモールド
開封温度50℃～80℃ 時間設定：0～59分59秒 |
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| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
ドライエッチング装置
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日本
サイエンティフィック
ES373 |
高周波出力：20～100Ｗ 電極間距離：30mm
シーケンス動作：全自動
使用真空度：5～80Pa ﾌﾟﾛｾｽｶﾞｽ：CF4,O2,他
ステージ温度範囲：30～50℃
エッチング時間：０～99min.59sec. |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
ボンドテスター
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ザイズテック
Condor Sigma |
ボンディングワイヤプル／シェア
Alリボン線プル／シェア、ダイシェア
ロードセル：100gf、10kgf
測定誤差：±0.075% |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
PIND試験装置
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B&Wｴﾝｼﾞﾆｱﾘﾝｸﾞ社製
BW-LPD-DAQ4000 |
周波数：40Hz(27Hz)～260Hz
加速度：0～20Gピーク
衝撃：1000±200G
トランスデゥーサ：感度－77.5±3db
ステージ：2インチ |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
カーブトレーサー
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Tektronix
370B
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ステップ・ゼネレーター機能搭載
最大ピーク電力220W、電圧2000V、電流10A |
| 名称 |
メーカー・形式 |
仕様 |
卓上型精密万能試験機
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SHIMADZU
オートグラフ AGS-5ｋNX
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負荷容量：5kN
試験力測定精度：±1%以内
クロスヘッド(引張ストローク)：1200mm(885mm)
試験空間(テーブル面)：幅420mm×奥行(無限) |
