内藤電誠工業株式会社評価解析事業部は、半導体製品の信頼性評価(耐候性試験)/実装評価(耐熱性試験)/調査解析(外観/非破壊/半破壊/破壊)を行います。


〒213-0011 神奈川県川崎市高津区久本3-9-25
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光学顕微鏡の性能と多くの機能を備えた、高分解能デジタルマイクロスコープ
深い被写界深度を利用したライブ深度合成で、高低差のあるサンプルも観察可能です。

調査解析事例
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デジタルマイクロスコープ撮影事例

《装置外観およびスペック》

装置外観図
 
型名:VHX6000(KEYENCE社製)

観察倍率 5~2000倍
VH-Z00T:5~50倍(観察距離 95mm)
VH-ZST :20~2000倍(観察距離 15mm)

傾斜観察角度:90度

画像形式
圧縮:JPEG、非圧縮:TIFF

画像サイズ:1600×1200 pixel(1枚)
最大 2000×2000 pixel(画像連結時)

ステージ寸法:171×168 mm
(θ回転角度:±90度)

《ライブ深度合成》

深度合成により、高低差のあるサンプルでもフルフォーカスで観察が可能です。
また、合成処理から3Dイメージを作成し、立体的な観察も可能です。

《マルチライティング》

ご依頼に合わせた最適なライティングで撮影いたします。
同軸・リング照明の他、2つの照明を合わせたミックス照明で、幅広い観察が可能です。

《反射除去》

光沢があるサンプルの撮影では、反射を除去・低減させた画像のご提供が可能です。

《寸法測定》

撮影した画像の他、リアルタイムでの2次元計測・面積計算が可能です。
測定結果は、CSVファイルでのご提供ができます。

 

半導体製品の信頼性評価/実装評価/調査解析についてのお問い合わせ

内藤電誠工業株式会社
評価解析事業部(溝ノ口工場)
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