2019年2月にリプレースしました。
従来の直交CTに加え、斜めCTが利用可能となり、様々角度からX線観察を実施可能となりました。
調査解析事例 |
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装置外観図 |
型名:Cheetah EVO (エクスロン社製) CTスキャン:直交+斜めCTスキャン 透視観察:ナノ・マイクロ・ハイパワー 観察倍率:~3000倍 焦点寸法:最小0.3μm 管電圧:最大160kV 管電流:最大1mA ステージサイズ:460mm×410mm サンプル重量:最大5kg 映像素子:FPD 16bit 100万画像 |
直交CT
試料の回転方向に対して X線を直交方向から照射し 360度方向から撮影 |
直交 CT画像(例 BGAボール) |
斜めCT
FPD(X線検出器)を傾斜させ ステージを360度水平回転しながら撮影 |
斜め CT画像(例 BGAボール) |
直交CTでは試料サイズに制約があるものの、 収集する情報量が多く、精細な観察が可能です。 |
基板のままTC観察することは、直交CTでは限界があります。 斜めCTでは観察部品を中心に水平回転させ、撮影致しますので 基板のままCT観察が可能となります。 |
欠陥解析モジュールや専用ソフトウェアにより、
半田のぬれ性や、ボイドなど内部欠陥や状態を検出することが可能です。
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X線CTデータから3次元形状データを保存するSTLデータに変換可能です。 STLデータにより、3Dプリンタによる模型作成や、現物と設計の比較検討が可能となります。 |
内藤電誠工業株式会社
評価解析事業部(溝ノ口工場)
〒213-0011 神奈川県川崎市高津区久本3-9-25